r
- Un/Dau Drws
Mae ffrâm a siambr wedi'u gwneud o ddur di-staen carbon.
Mae pob drws yn darparu ffenestr archwilio ar gyfer rheolaeth weledol y broses.Mae waliau'r drws yn darparu leinin dur di-staen sy'n hawdd ei symud ar gyfer cynnal a chadw.
-Siambr gwactod wedi'i addasu
Mae'r siambr yn darparu leinin dur di-staen mewnol yn hawdd eu tynnu i'w glanhau.
Mae'r pympiau yn sefyll ar ei ran gefn.
Mae gan y siambr gyfres o fflans fach at ddibenion mesur.
-System pwmpio gwactod uchel
Pwmp tryledu + pwmp atgyfnerthu + pwmp mecanyddol
-Mesur a rheolaeth gwactod
Gyda mesurydd Pirani metel + mesurydd Ionization metel
-System symud gosodiadau
-PLC uned reoli
-System anweddiad alwminiwm gyda thrawsnewidydd pŵer uchel
-Ffrâm haearn
Mae'r strwythur yn rhesymol
Mae'r haen ffilm yn unffurf
Ansawdd ffurfio ffilm
Cyflymder pwmpio uchel, cylch gwaith byr ac effeithlonrwydd cynhyrchu uchel
Mae gweithrediad yn gyfleus
Defnydd isel o ynni a pherfformiad sefydlog
Rhif Model | EV-1000 | EV-1200 | EV-1400 | EV-1800 | EV-2000 | Mae dau ddrws neu fodel dwy siambr ar gael | |
Dimensiwn y siambr gwactod (diamedr * uchder) | 1000*1100 | 1200*1400 | 1400*1600 | 1800*2000 | 2000*2200 | ||
Deunydd y siambr gwactod | Dur carbon, SUS304 neu SUS316L | ||||||
Technoleg gweithio | anweddiad gwrthiant gwactod gyda ffilamentau twngsten ac alwminiwm, trawsnewidydd anweddiad pŵer uchel | ||||||
System bwmpio | Pwmp tryledu + pympiau mecanyddol, pwmp atgyfnerthu | ||||||
Amser Pwmpio | O awyrgylch i 5.0 * 10-2Pa llai nag 8 munud | ||||||
Terfyn Gwactod | 5.0*10-4 Yf | ||||||
Tymheredd gweithio | Tymheredd ystafell | ||||||
Modd gweithio | Modd Awtomatig neu Llawlyfr, gan sgrin gyffwrdd 10.4 modfedd PLC | ||||||
Cyfanswm Pŵer | 40-80kW | 70-140kW | |||||
Ôl Troed | 2 * 2 metr | 2 * 3 metr | 3 * 3 metr | 3 * 3 metr | 3 * 4 metr | 4 * 5 metr | 5 * 6 metr |
Mae'r unedau hyn y gallwch chi eu gwneud yn arbennig | 1. Maint y siambr gwactod 2. Cyfluniadau pympiau | ||||||
Offerynnau dewisol | 1. Synhwyrydd gollyngiadau 3. System dyddodiad ïon arc 4. Magntron sputtering system |