System Inline Magnetron Sputtering
Mae peiriant cotio sputtering magnetron mewnol yn bennaf DC (neu MF) gellir addasu cotio sputtering magnetron i ystod eang o dargedau, megis: copr, titaniwm, cromiwm, dur di-staen, nicel a deunyddiau metel eraill y gellir eu gorchuddio gan ddefnyddio proses sputtering yn gallu gwella adlyniad ffilm, atgynhyrchu, dwysedd, unffurfiaeth a nodweddion eraill.
- a.Y nodweddion a'r paramedrau sylfaenol
- b.gellir gwireddu strwythur llinell lorweddol ar yr un pryd gorchuddio ar un ochr
- c.effeithlonrwydd cynhyrchu, y cyflymderau cyflymaf o hyd at 1 munud / curiad
- d.dylunio modiwlaidd, cynnal a chadw hawdd
- e.aeddfedrwydd proses platio, cynnyrch uchel
- dd.Gall catodau sputtering magnetron DC amrywio yn dibynnu ar ofynion cwsmeriaid
- g.system gwactod yn cynnwys pwmp mecanyddol, Roots pympiau, pympiau trylediad (pwmp moleciwlaidd) Cyfansoddiad
- h.Gall maint corff llinell amrywio yn dibynnu ar ofynion cwsmeriaid
- 1) Mae'r deunyddiau corff siambr gwactod a ddefnyddir SUS304, sgleinio triniaeth wal siambr gwactod, y wal allanol chwistrellu sgleinio prosesu gleiniau.
- 2) Gall defnyddio falf giât annibynnol rhwng y siambr gwactod - falf flapper ar wahân, dorri i ffwrdd yn effeithiol, sefydlogi'r broses nwy.Ar hyn o bryd mae ein cwmni'n mabwysiadu'r dyluniad falf flapper, mae'n selio'n well, yn fwy gwydn na'r falf fflap cyffredin domestig presennol.
- 3) Mae trawsyrru yn defnyddio canllaw magnetig, amddiffyn sefydlogrwydd y gyriant.Ar gyfer pob cyflymder y llinell gynhyrchu gyfan gan ddefnyddio gyriant modur VVVF, gellir addasu cyflymder rhedeg.
- 4) System Rheoli Trydan: Sgrin Gyffwrdd a rheolaeth awtomatig PLC, deialog dyn-peiriant i gyflawni'r system arddangos data, paramedrau gweithredu a thechnoleg rheoli
- 1) Pwysedd gwactod yn y pen draw: 6 × 1 0E-4 Pa
- 2) y cylch cynhyrchu cyfartalog: yn ôl y cynnyrch a bennir
- 3) deiliad y swbstrad Maint: gellir ei addasu yn unol â gofynion
- 4) Unffurfiaeth ffilm: ± Mae technoleg maes symudol uwch 3% wedi gwella'r defnydd o darged yn fawr
- Mae dyluniad gwresogydd segmentiedig yn ffafriol i optimeiddio prosesau.
Ysgrifennwch eich neges yma a'i hanfon atom
