Drych Alwminiwm Inline Mae Magnetron Sputtering Line wedi'i gynllunio ar gyfer allbwn uchel o bwrpas gweithgynhyrchu drych gwydr.Er mwyn gorchuddio gwydr mwy a gofalu am banel gwydr bregus, yn enwedig ar gyfer y taflenni maint mawr, rydym fel arfer yn gwneud math llorweddol o linell sputtering.Mae'n llinell cotio magnetron parhaus, gyda'r siambr bwmpio garw blaen a chefn, ac ar ôl y siambr drosglwyddo, cyn ac ar ôl y siambr bwmpio dirwy, siambr glustogi, ystafell platio lliw.
D esign targed: magnetron silindrog sputtering catodes neu/a catodes planar.
Ffynhonnell pŵer: cyflenwad pŵer gyda phwer uchel DC neu MF magnetron sputtering
System yrru: gyriant rholio, y gellir ei addasu amledd, system agor drws ystafell math sefydlu.
System gwactod: pwmp tryledu (neu bwmp moleciwlaidd turbo) + pwmp gwreiddiau + pwmp mecanyddol
Mae Llinell Sputtering Alwminiwm Drych Inline Magnetron fel arfer yn dod â siambrau gwactod lluosog i gwblhau'r cotio gwactod ar ddalennau gwydr.
Prif nodweddion:
Maint cotio 1.Max.glass:2440x3660mm neu wedi'i addasu
2. Mae siambrau aml-wactod a dyluniad siambr aml-sputtering ar gael
3. Mae gan y llinell reolaeth magnetig lorweddol strwythur pen sengl a diwedd dwbl;gellir gorffen glanhau dwbl gwydr, cotio, canfod, paentio, sychu, oeri i gyd ar yr un pryd
4. Mae'r llinell cotio sputtering yn defnyddio PLC ar gyfer rheoli'r broses gyfan ac mae ganddi sgrin lliw i ddangos data'r broses cotio
Haen o haenau: Titaniwm, Chrome, Dur Di-staen, Alwminiwm, Arian, Copr, ac ati.
Cyfansawdd: TiN, TiO2, ac ati.
Trwch haen: 5-100nm
Trosglwyddo: 8-40% ar donfeddi 380-780 nm
Tymheredd dyddodiad: tymheredd ystafell
Pwysau yn y pen draw ar ôl pwmpio i lawr 8 awr:
Siambr clo mynediad a siambr clo gwactod: 5 × 10-1 Pa neu is
Siambr Glustogi 1 : 3 × 10-3 Pa neu is
Siambr Sputtering: 2 × 10-3 Pa neu is
Siambr Glustogi 2 : 3 × 10-3 Pa neu is
Siambr clo ymadael a siambr clo gwactod: 5 × 10-1 Pa neu is